| 发明名称 | 籽晶层辅助的高性能TiO<sub>2</sub>基透明导电薄膜及制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种TiO2基透明导电膜，所述导电膜包括：衬底层，所述衬底为普通玻璃、石英玻璃、陶瓷基板、SrTiO3(STO)或LaAlO3(LAO)衬底；籽晶层，所述籽晶层为具有锐钛矿结构的TiO2籽晶层或具有锐钛矿结构的掺杂TiO2籽晶层；所述籽晶层的厚度为20nm～250nm；在所述籽晶层上利用该籽晶层诱导生长的掺杂TiO2覆盖层；所述覆盖层中掺杂元素总量为Ti元素的0.25mol％～20mol％，所述掺杂TiO2的掺杂元素包括Nb、Ta、V、Sc、Zr、Hf、Cr、Mo和W中的一种或几种；其中，所述籽晶层和所述覆盖层的总厚度为600nm～3.0μm。本发明还提供所述TiO2基透明导电膜的制备方法以及含有所述所述TiO2基透明导电膜的器件。 | ||
| 申请公布号 | CN102181825A | 申请公布日期 | 2011.09.14 |
| 申请号 | CN201110058098.2 | 申请日期 | 2011.03.10 |
| 申请人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明人 | 黄富强;万冬云 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C20/08(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 彭茜茜;白益华 |
| 主权项 | 一种TiO2基透明导电膜，其特征在于，所述导电膜包括：衬底层，所述衬底为普通玻璃、石英玻璃、陶瓷基板、SrTiO3(STO)或LaAlO3(LAO)衬底；籽晶层，所述籽晶层为具有锐钛矿结构的TiO2籽晶层或具有锐钛矿结构的掺杂TiO2籽晶层；所述籽晶层的厚度为20nm～250nm；在所述籽晶层上利用该籽晶层诱导生长的掺杂TiO2覆盖层；所述覆盖层中掺杂元素总量为Ti元素的0.25mol％～20mol％，所述掺杂TiO2的掺杂元素包括Nb、Ta、V、Sc、Zr、Hf、Cr、Mo和W中的一种或几种；其中，所述籽晶层和所述覆盖层的总厚度为600nm～3.0μm。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区定西路1295号 | ||