曝光装置及其组装方法、以及器件制造方法

摘要

支持曝光装置及附设于其的装置的构成各部的至少一部分的全体机架(50)是由多个单元(52、54、56)构成。另外，各多个单元(52、54、56)支持例如照明系统(IOP)、驱动光罩载台(MST)的线性马达的固定子(71a、72a)、光罩搬送装置(90)。此时，由多个单元(52、54、56)构筑1个全体机架(50)，可使机架全体拥有充分的强度。因此，可容易组装大型的曝光装置。

主权项

一种曝光装置，照射能量束而在物体上形成图案，该曝光装置具备：在前述物体上生成图案的图案生成装置；由支持前述图案生成装置及附设于该装置的装置的构成各部的至少一部分的多个单元构成的机架。