发明名称 |
晶圆代工机台超纯水回收方法及系统 |
摘要 |
本发明公开一种晶圆代工机台超纯水回收方法及系统,对晶圆代工机台外输废水采用传感器检测其水质,经控制系统判断后控制阀门使相应管路导通,使符合超纯水回收标准的进入超纯水回收系统;否则进入废水处理系统。由控制系统根据传感器测得的数据控制阀门,使晶圆代工机台外输废水进入相应的管路,从而实现了符合回收标准的超纯水得以进入超纯水回收系统,处理后重新使用,能够使晶圆代工机台废水合理分流,降低了废水处理系统处理负荷和运行成本,同步提高制程纯水回收率,节约了用水。 |
申请公布号 |
CN102184841A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201010593415.6 |
申请日期 |
2010.12.17 |
申请人 |
无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
发明人 |
吴海岑 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
宋松 |
主权项 |
一种晶圆代工机台超纯水回收方法,其特征在于:对晶圆代工机台外输废水采用传感器检测其水质,经控制系统判断后控制阀门使相应管路导通,使符合超纯水回收标准的进入超纯水回收系统;否则进入废水处理系统。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 |