一种带限位锁止功能的静电微驱动器

摘要

本发明公开了一种带限位锁止功能的静电微驱动器，属于微机电系统领域。该微驱动器在驱动组件两侧分布有四个限位锁止组件，驱动组件通过弹性支撑梁与锚点连接，限位锁止组件通过弹性支撑梁与锚点连接，限位锁止棘齿通过与驱动组件两侧的驱动棘齿咬合实现静电微驱动器的限位锁止功能。这种带限位锁止功能的静电微驱动器克服了现有技术中静电微驱动器存在不带限位锁止功能、不能停电离线工作等缺点，使得静电微驱动器在达到预设的输出位移时，能进行限位锁止，如此以来，静电微驱动器可以停电离线工作，可长时间恒定输出位移。

主权项

一种带限位锁止功能的静电微驱动器，包括驱动组件(50)和限位锁止组件I(10)、限位锁止组件II(20)、限位锁止组件III(30)、限位锁止组件IV(40)；所述的驱动组件(50)包括一个驱动框架(54)，驱动框架(54)通过弹性支撑梁IX(53)、弹性支撑梁X(55)、弹性支撑梁XI(58)、弹性支撑梁XII(59)悬置在锚点V(65)上；驱动框架(54)由驱动电极V(61)、驱动电极VI(62)、驱动电极VII(63)、驱动电极VIII(64)控制产生往复运动；定义驱动框架(54)运动方向为x轴，与之垂直的方向为y轴；驱动框架(54)的x方向两端各有一驱动输出末端(51)；各驱动输出末端(51)的y方向两侧分别连有驱动棘齿I(52)、驱动棘齿II(56)、驱动棘齿III(57)和驱动棘齿IV(60)；所述的限位锁止组件I(10)包括通过两平行的弹性支撑梁I(12)、弹性支撑梁II(13)连接在锚点I(11)上的限位锁止框架I(15)，限位锁止框架I(15)上连有限位锁止棘齿I(16)，它与驱动组件(50)上的驱动棘齿I(52)配对；所述限位锁止框架I(15)由驱动电极I(14)控制其在y方向的往复运动；所述的限位锁止组件II(20)包括通过两平行的弹性支撑梁III(22)、弹性支撑梁IV(23)连接在锚点II(21)上的限位锁止框架II(25)，限位锁止框架II(25)上连有限位锁止棘齿II(26)，它与驱动组件(50)上的驱动棘齿II(56)配对；所述限位锁止框架II(25)由驱动电极II(24)控制其在y方向的往复运动；所述的限位锁止组件III(30)包括通过两平行的弹性支撑梁V(32)、弹性支撑梁VI(33)连接在锚点III(31)上的限位锁止框架III(35)，限位锁止框架III(35)上连有限位锁止棘齿III(36)，它与驱动组件(50)上的驱动棘齿IV(60)配对；所述限位锁止框架III(35)由驱动电极III(34)控制其在y方向的往复运动；所述的限位锁止组件IV(40)包括通过两平行的弹性支撑梁VII(42)、弹性支撑梁VIII(43)连接在锚点IV(41)上的限位锁止框架IV(45)，限位锁止框架IV(45)上连有限位锁止棘齿IV(46)，它与驱动组件(50)上的驱动棘齿III(57)配对；所述限位锁止框架IV(45)由驱动电极IV(44)控制其在y方向的往复运动。