电子显微镜的第二聚光镜

摘要

本发明公开一种电子显微镜的第二聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板盖住外壳的下端开口，磁环外面套装磁路线圈，两者均设置在外壳内，磁路线圈下面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件下面为下盖板，下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔，三者通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件；垫圈、极靴组件内均设有通孔，两者通孔相互连通，连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大，从而改变电子束斑的大小，实现针对不同样品可提供不同的束斑大小，提高电子显微镜的性能。

主权项

一种电子显微镜的第二聚光镜，其特征在于，包括：外壳、下盖板、磁环、磁路线圈、水套隔圈组件、垫圈、极靴组件、固定光阑组件和消象散组件；所述外壳为两端开口的圆环柱形空腔，下盖板设置在所述外壳的下端开口处，与所述外壳固定连接，盖住所述外壳的下端开口，下盖板中间部位设有通孔；所述磁环外面套装磁路线圈，所述磁环和其外面套装的磁路线圈均设置在所述外壳内，所述磁环的中间部位设有通孔；所述水套隔圈组件设置在所述外壳内，设置在所述磁路线圈的下面，水套隔圈组件的下面为所述下盖板，与所述下盖板固定连接，所述水套隔圈组件的中间部位也设有通孔；所述下盖板、水套隔圈组件和磁环的通孔相连通，连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件，所述垫圈和极靴组件内均设有通孔；所述垫圈和极靴组件的通孔均相互连通，连通后的通孔内依次设置固定光阑组件和消象散组件。