| 发明名称 | 基板输送装置和方法以及具有该装置的基板制造设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供基板输送装置和方法以及具有该装置的基板制造设备。所述基板输送装置包括：一组轴；以及驱动部，用于使所述一组轴转动，所述一组轴包括：具有第一长度的至少一个第一轴；第二轴，与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的第二长度；以及第三轴，与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的第三长度；其中，所述第二轴位于比所述第一轴的另一端更靠近所述第一轴的一端的位置，所述第三轴位于比所述第一轴的一端更靠近所述第一轴的另一端的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN101604650B | 申请公布日期 | 2011.09.14 |
| 申请号 | CN200910203661.3 | 申请日期 | 2009.06.09 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 金相吉;咸胜元 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 李雪春;武玉琴 |
| 主权项 | 一种基板输送装置，其特征在于包括：一组轴；以及驱动部，用于使所述一组轴转动，所述一组轴包括：具有第一长度的至少一个第一轴；第二轴，与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的第二长度；以及第三轴，与所述第一轴位于同一平面上，具有比所述第一长度短的第三长度；其中，所述第二轴位于比所述第一轴的另一端更靠近所述第一轴的一端的位置，所述第三轴位于比所述第一轴的一端更靠近所述第一轴的另一端的位置，所述驱动部包括：第一动力传递部，连接所述第一轴和所述第二轴，在所述第一轴和所述第二轴之间传递转动力；第二动力传递部，连接所述第一轴和所述第三轴，所述第三轴依赖于所述第一轴转动；以及动力源，向所述第一动力传递部提供转动力。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||