石英保护环定中心结构

摘要

一种电极总成和在用于半导体基片处理的等离子反应室中将外环围绕电极总成定中心的方法。该方法包括围绕该电极总成的背衬构件的外部表面设置外环，以及将至少一个定心元件插在该外环和该背衬构件之间。该定心元件可以是容纳在该背衬构件的外部表面的腔体中的多个弹簧加载定心元件，该定心元件具有适于接触该外环的第一端和适于容纳弹簧的第二端。该外环围绕该背衬构件的外部表面，从而该多个弹簧加载定心元件位于该背衬构件的外部表面和该外环的内部表面之间。

主权项

一种在半导体基片处理中使用的等离子反应室的电极总成包括：上电极；背衬构件，该背衬构件可贴附于该上电极的上表面；外环，围绕该背衬构件的外部表面，其中该外环构造为在该背衬构件的外部表面以及该外环的内部表面之间提供内部间隙；和至少一个定心元件，用以将该外环围绕该外部背衬构件定中心，设在该背衬构件的外部表面和该外环的内部表面之间。