发明名称 Turbo molecular pump
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (14) und Statorscheiben (16), wobei die Statorscheiben durch Distanzringe (18, 19) auf Abstand gehalten werden. Die Distanzringe sind so gestaltet, dass sie eine feste Verbindung mit dem jeweiligen Nachbarring eingehen, so dass sie in ihrer Gesamtheit die Fixierung und Zentrierung der Statorscheiben übernehmen. </p>
申请公布号 EP1498612(A3) 申请公布日期 2011.09.14
申请号 EP20040014174 申请日期 2004.06.17
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 STANZEL, JOERG
分类号 F04D19/04;F04D29/54 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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