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发明名称
摘要
申请公布号
JP4770144(B2)
申请公布日期
2011.09.14
申请号
JP20040264421
申请日期
2004.09.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/8246;H01F10/14;H01F10/16;H01F10/30;H01F10/32;H01L27/105;H01L43/08;H01L43/10
主分类号
H01L21/8246
代理机构
代理人
主权项
地址
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