基板处理设备

摘要

在基板处理设备中，设置有涂覆模块和干燥模块。在涂覆模块中，光致抗蚀膜被涂覆到所述基板上，所述基板在传送方向上被水平传送。干燥模块靠近所述涂覆模块，基板上的光致抗蚀膜在所述干燥模块中被干燥。所述带有光致抗蚀膜的基板直接从所述涂覆模块传送到干燥模块，不需要传送机器人。因此，所述处理设备的制造成本和维护成本下降。

主权项

一种基板处理设备，包括：用于将光致抗蚀膜涂覆到所述基板上的涂覆模块，所述基板在传送方向上被水平传送；以及靠近所述涂覆模块的干燥模块，所述干燥模块对直接从所述涂覆模块传送过来的所述基板上的所述光致抗蚀膜进行干燥。