可控多元阴极弧等离子体形成装置及方法

摘要

可控多元阴极弧等离子体形成装置及方法，它涉及等离子体形成装置及方法。本发明为解决现有多元复合膜层制备采取复合多元靶材的方式，复合靶材制作困难的问题。装置：阴极与阴极座连接，阴极与触发板设在放电室内，阳极设置在阴极的下方，放电室通过连接管与过滤室连接。方法：将放电室抽真空到1×10-1Pa的压力，采用4kV的触发脉冲加到触发极上引燃阴极，放电电流为40～200A，过滤磁场强度为200高斯，在过滤室中形成多元阴极弧等离子体。本发明采用的阴极为多个纯金属阴极，加工制备简单，避免了复合多元阴极由于硬度高而制作困难的现象，通过本发明形成的多元阴极弧等离子体的组分种类和密度调整简单。

主权项

一种可控多元阴极弧等离子体形成装置，它由放电室(1)、过滤室(2)和连接管(3)组成，连接管(3)的上端与放电室(1)的下端连接，连接管(3)的下端与过滤室(2)的上端连接，其特征在于：放电室(1)由磁场线圈(1‑1)、上盖(1‑2)、阴极保护套(1‑3)、阴极(1‑4)、触发绝缘块(1‑5)、触发板(1‑6)、触发杆绝缘套(1‑7)、触发杆(1‑8)、触发杆外套(1‑9)、阴极座(1‑10)、阴极绝缘套(1‑11)、阳极(1‑12)、阳极座(1‑13)、阴极保护套座(1‑14)和阳极圆筒(1‑15)组成，上盖(1‑2)上设有阴极座孔(1‑2‑1)和触发杆孔(1‑2‑2)，阴极保护套(1‑3)上设有阴极孔(1‑3‑1)，阴极保护套(1‑3)通过阴极保护套座(1‑14)固定在上盖(1‑2)的下端，阴极孔(1‑3‑1)与阴极座孔(1‑2‑1)相通，阴极绝缘套(1‑11)设置在阴极座孔(1‑2‑1)中，阴极座(1‑10)设置在阴极绝缘套(1‑11)中，触发杆外套(1‑9)设置在触发杆孔(1‑2‑2)中，触发杆(1‑8)设置在触发杆外套(1‑9)中，触发杆绝缘套(1‑7)穿过触发杆(1‑8)的下端且套在触发杆外套(1‑9)上，触发板(1‑6)与阴极(1‑4)对应一侧设有阶梯表面(1‑6‑1)，触发板(1‑6)套在触发杆(1‑8)的下部，触发绝缘块(1‑5)与触发板(1‑6)上的阶梯表面(1‑6‑1)相连，阴极(1‑4)设置在阴极孔(1‑3‑1)中，阴极(1‑4)的上端与阴极座(1‑10)的下端连接，阴极(1‑4)的下端面与触发板(1‑6)和触发绝缘块(1‑5)的下端面平齐，阳极圆筒(1‑15)设置在上盖(1‑2)下端面的周边，阳极圆筒(1‑15)的下端与阳极座(1‑13)的周边连接，阳极(1‑12)与阳极座(1‑13)的上表面相连，阳极(1‑12)上设有阳极孔(1‑12‑1)，阳极座(1‑13)上设有阳极座孔(1‑13‑1)，阳极孔(1‑12‑1)与阳极座孔(1‑13‑1)相通，磁场线圈(1‑1)设置在阳极圆筒(1‑15)的外侧壁上，上盖(1‑2)上的阴极座孔(1‑2‑1)和触发杆孔(1‑2‑2)、阴极(1‑4)、触发绝缘块(1‑5)、触发板(1‑6)、触发杆绝缘套(1‑7)、触发杆(1‑8)、触发杆外套(1‑9)、阴极座(1‑10)、阴极绝缘套(1‑11)的数量均为四至六个，过滤室(2)由法兰(2‑1)、过滤圆筒(2‑2)、底座(2‑3)、过滤条(2‑4)和过滤线圈(2‑5)组成，过滤圆筒(2‑2)的上端与法兰(2‑1)连接，过滤圆筒(2‑2)的下端与底座(2‑3)连接，过滤条(2‑4)的周边固定在过滤圆筒(2‑2)的内侧壁上，过滤线圈(2‑5)设置在过滤圆筒(2‑2)的外侧壁上。