发明名称 |
一种石墨烯的生长方法以及石墨烯 |
摘要 |
一种石墨烯的生长方法,包括如下步骤:提供III族氮化物衬底;将所述III族氮化物衬底置于平板加热器的中心区域;向III族氮化物衬底表面通入非氧化性气体;加热III族氮化物衬底;向III族氮化物衬底表面通入含碳物质作为碳源,进行石墨烯的生长;停止通入碳源,持续通入非氧化性气体保护并降温至室温。 |
申请公布号 |
CN102181924A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201110078118.2 |
申请日期 |
2011.03.30 |
申请人 |
苏州纳维科技有限公司;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
发明人 |
刘争晖;王建峰;钟海舰;任国强;蔡德敏;徐耿钊;樊英民;徐科 |
分类号 |
C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B25/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 |
代理人 |
翟羽 |
主权项 |
一种石墨烯的生长方法,其特征在于,包括如下步骤:提供III族氮化物衬底;将所述III族氮化物衬底置于加热器的中心区域;向III族氮化物衬底表面通入非氧化性气体;加热III族氮化物衬底;向III族氮化物衬底表面通入含碳物质作为碳源,进行石墨烯的生长;停止通入碳源,持续通入非氧化性气体保护并降温至室温。 |
地址 |
215125 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号 |