发明名称 一种石墨烯的生长方法以及石墨烯
摘要 一种石墨烯的生长方法,包括如下步骤:提供III族氮化物衬底;将所述III族氮化物衬底置于平板加热器的中心区域;向III族氮化物衬底表面通入非氧化性气体;加热III族氮化物衬底;向III族氮化物衬底表面通入含碳物质作为碳源,进行石墨烯的生长;停止通入碳源,持续通入非氧化性气体保护并降温至室温。
申请公布号 CN102181924A 申请公布日期 2011.09.14
申请号 CN201110078118.2 申请日期 2011.03.30
申请人 苏州纳维科技有限公司;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明人 刘争晖;王建峰;钟海舰;任国强;蔡德敏;徐耿钊;樊英民;徐科
分类号 C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I 主分类号 C30B25/18(2006.01)I
代理机构 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人 翟羽
主权项 一种石墨烯的生长方法,其特征在于,包括如下步骤:提供III族氮化物衬底;将所述III族氮化物衬底置于加热器的中心区域;向III族氮化物衬底表面通入非氧化性气体;加热III族氮化物衬底;向III族氮化物衬底表面通入含碳物质作为碳源,进行石墨烯的生长;停止通入碳源,持续通入非氧化性气体保护并降温至室温。
地址 215125 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号