具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备

摘要

本实用新型涉及具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备。该设备包括机座、显微镜机构、载物台（运动平台）、载物台升降机构、大理石和气浮平台支架，改进在于：在载物台升降机构的电机下方的气浮平台支架的大理石台面上设有U形支架，U形支架两侧支杆的上部分别设有顶紧螺栓，电机上的电机固定套筒部分位于U形支架内，且U形支架两侧的顶紧螺栓将电机固定套筒顶紧，从而使显微镜粗调螺母固定不动。本实用新型不用改变晶圆检测设备中显微镜的内部结构布局，改进部分结构安装调试方便，制造成本低；能保证晶圆检测工作的连续顺利与完整；在高精度自动重复测量时，不用时时聚焦，节约测量时间，有效提高检测效率。

主权项

具有防止载物台下沉机构的晶圆检测设备，包括机座、显微镜机构、载物台、载物台升降机构、大理石和气浮平台支架，载物台升降机构包括电机，电机与显微镜粗调螺母是通过显微镜粗调压紧环、电机固定套筒、电机锁紧螺钉、显微镜粗调压紧环顶丝连接起来，其特征在于：气浮平台支架的大理石上设有U形支架，U形支架两侧支杆的上部分别设有顶紧螺栓，电机上的电机固定套筒部分位于U形支架内，且U形支架两侧的顶紧螺栓将电机固定套筒顶紧。