用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件及方法

摘要

本发明涉及一种用于沉积非晶硅薄膜电池的射频电源连接构件及方法，属于太阳电池技术领域，射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。本发明不仅能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，而且能快速、稳固地实现阴极板接口和射频电源接口对接，还可以通过调整偏差部件调整阴极板接口和射频电源接口对接的偏差，进一步保证对接的准确性。

主权项

一种用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，包括安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板和装在真空室腔壁内的射频电源接口固定板，其特征在于所述射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。