安装电源装置的真空器件和电源方法

摘要

改进排列在真空室内的旋转电极和接触该旋转电极以便向其提供电功率的电源装置间的接触状态。真空设备具有真空室、排列在真空室内并与真空室电绝缘的旋转电极，以及接触旋转电极以便向其提供电功率的电源装置，其中，旋转电极具有环形形状以及相对于环形形状的中心轴水平旋转，以及电源装置由电极构件组成，以及电极构件和旋转电极在至少一个接触面彼此接触。

主权项

一种真空设备，特征在于包括：真空室；旋转电极，排列在所述真空室内并与所述真空室电绝缘；以及电源装置，接触所述旋转电极以便向其提供电功率；其中，所述旋转电极具有环形形状以及相对于环形形状的中心轴水平旋转，以及所述电源装置由电极构件组成，以及所述电极构件和所述旋转电极在至少一个接触面彼此接触。