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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A THIN METAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号 EP1452619(B1) 申请公布日期 2011.09.14
申请号 EP20020768137 申请日期 2002.09.30
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY 发明人 FUKUHISA, KOJI;NAKAJIMA, AKIRA;SHINOHARA, KENJI;WATANABE, TOSHIYA;OHSAKI, HISASHI;SERIKAWA, TADASHI
分类号 C23C8/36;C01B13/14;C01B13/28;C23C8/02;C23C14/08;C23C14/58;C23C18/14;C23C26/00;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/52;H01L31/0224;H01L31/18 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
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