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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD FOR CORRECTING.
摘要
申请公布号 NL2006149(A) 申请公布日期 2011.09.13
申请号 NL20112006149 申请日期 2011.02.07
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 KOENEN WILLEM;EUSSEN EMIEL;PASCH ENGELBERTUS
分类号 G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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