附有减振闭锁机构之晶圆容器及门

主权项

一种容器，用以固持复数个轴向对齐且大致平行间隔配置的晶圆，该容器包含：一壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及前开口；至少一晶圆支撑器，在壳体内；壳体底部之运动学上的耦合；以及一门，用以密封地关闭该前开口，该门包含：一底座；以及一可动闭锁机构，在该底座上的，其包括可选择性旋转之一凸轮，以在第一支持位置及第二支持位置间切换该闭锁机构，该闭锁机构更包括至少一振动阻尼器，当闭锁机构在第一及第二支持位置间切换时，以缓冲所产生的振动；其中，该闭锁机构更包含一弹簧，其具有第一弹性部分之设置，以提供一偏压力将闭锁机构推向第一及第二支持位置。如申请专利范围第1项之容器，其中，该至少一振动阻尼器包括可动地耦合于底座上之弹簧的第二弹性部分。如申请专利范围第2项之容器，其中，该门包括一晶圆减振部分，其中该凸轮与该弹簧系为导电性，且其中该弹簧的第二弹性部分系可导电地耦合于晶圆减振部分。如申请专利范围第2项之容器，其中，该弹簧系由热塑性材料所形成。如申请专利范围第4项之容器，其中，该弹簧之第一及第二弹性部分系一体成型为单一部件。如申请专利范围第4项之容器，其中，该热塑性材料含有导电填充物。如申请专利范围第1项之容器，其中，该凸轮具有一细长狭槽，其中界定有第一及第二相对端部，且该闭锁机构更包含至少一可侧向滑动的闭锁臂，其具有可滑动接合于该狭槽内之一凸轮从动件部分，而其中该至少一振动阻尼器包括设于接近该狭槽之第一端部的弹簧，以接合凸轮从动件部分并提供一偏压力以抵抗凸轮从动件部分朝向狭槽之第一端部的运动，而呈弯曲指形状的弹簧系延伸穿过该狭槽。如申请专利范围第7项之容器，其中，该至少一振动阻尼器更包含设于接近该狭槽之第二端部的第二弹簧，以接合凸轮从动件部分并提供一偏压力以抵抗凸轮从动件部分朝向狭槽之第二端部的运动。如申请专利范围第8项之容器，其中，该闭锁机构更包含一偏压弹簧，其具有一第一弹性部分，第一弹性部分系可动地耦合于凸轮与底座，且设置成可提供一偏压力以将闭锁机构推向第一及第二支持部分其中一者，且其中该至少一振动阻尼器包括可动地耦合于底座上之偏压弹簧的第二弹性部分。如申请专利范围第9项之容器，其中，该门包括晶圆减振部分，其中该凸轮与该偏压弹簧系为导电性，且该偏压弹簧的第二弹性部分系可导电地耦合于晶圆减振部分。如申请专利范围第1项之容器，其中，该闭锁机构更包含可动地耦合于凸轮之一闭锁臂，且其中该至少一振动阻尼器包括延伸于闭锁臂与底座之间的一弹性构件。一种容器，用以固持复数个轴向对齐且大致平行间隔配置的晶圆，该容器包含：一壳体部分，其具有顶部、底部、一对相对之侧边部、后部及前开口；至少一晶圆支撑器，在壳体内的；壳体底部之运动学上的耦合；以及一门，用以密封地关闭该前开口，该门包含：一底座；以及一可动闭锁机构，在底座上，其包括可选择性旋转之一凸轮，以在第一支持位置及第二支持位置间切换该闭锁机构，该闭锁机构更包括一可在闭锁机构于第一及第二支持位置间切换时，缓冲所产生之振动的阻尼手段；其中，该闭锁机构更包含一弹簧，其具有第一弹性部分之设置，以提供一偏压力将闭锁机构推向第一及第二支持位置，且其中该振动阻尼手段包括可动地耦合于底座上之弹簧的第二弹性部分。如申请专利范围第12项之容器，其中，该门包括一晶圆减振部分，其中该凸轮与该弹簧系为导电性，且其中该弹簧的第二弹性部分系可导电地耦合于晶圆减振部分。如申请专利范围第12项之容器，其中，该弹簧系由热塑性材料所形成。如申请专利范围第14项之容器，其中，该弹簧之第一及第二弹性部分系一体成型为单一部件。如申请专利范围第14项之容器，其中，该热塑性材料含有导电填充物。如申请专利范围第12项之容器，其中，该凸轮具有一细长狭槽，其中界定有第一及第二相对端部，且该闭锁机构更包含至少一可侧向滑动的闭锁臂，其具有可滑动接合于该狭槽内之一凸轮从动件部分，而其中该振动阻尼手段包括设于接近该狭槽之第一端部且延伸穿过该狭槽的一弹簧，以接合凸轮从动件部分并提供一偏压力以抵抗凸轮从动件部分朝向狭槽之第一端部的运动。如申请专利范围第17项之容器，其中，该振动阻尼手段更包含设于接近该狭槽之第二端部且延伸穿过该狭槽的一第二弹簧，以接合凸轮从动件部分并提供一偏压力以抵抗凸轮从动件部分朝向狭槽之第二端部的运动。如申请专利范围第17项之容器，其中，该闭锁机构更包含一偏压弹簧，其具有一第一弹性部分，第一弹性部分系可动地耦合于凸轮与底座，且设置成可提供一偏压力以将闭锁机构推向第一及第二支持部其中一者，且其中该振动阻尼手段包括可动地耦合于底座上之偏压弹簧的第二弹性部分。如申请专利范围第19项之容器，其中，该门包括晶圆减振部分，其中该凸轮与该偏压弹簧系为导电性，且其中该偏压弹簧的第二弹性部分系可导电地耦合于晶圆减振部分。如申请专利范围第12项之容器，其中，该闭锁机构更包含可动地耦合于凸轮之一闭锁臂，且其中该振动阻尼手段包括延伸于闭锁臂与底座之间之一弹性构件。一种门，用于一晶圆容器，该门包含：一底座；以及一可动闭锁机构，在底座上，其包括可选择性旋转之一凸轮，以在第一支持位置及第二支持位置间切换该闭锁机构，该闭锁机构更包括至少一振动阻尼器，当闭锁机构在第一及第二支持位置间切换时，缓冲所产生的振动；其中，该凸轮具有一细长狭槽，其中界定有第一及第二相对端部，且该闭锁机构更包含至少一可侧向滑动的闭锁臂，其具有可滑动接合于该狭槽内之一凸轮从动件部分，而其中该至少一振动阻尼器包括设于接近该狭槽之第一端部且延伸穿过该狭槽的一弹簧，以接合凸轮从动件部分并提供一偏压力以抵抗凸轮从动件部分朝向狭槽之第一端部的运动，且防止凸轮从动件部分抵达狭槽之端部。如申请专利范围第22项之门，其中，该闭锁机构更包含一弹簧，其具有第一弹性部分之设置，以提供一偏压力将闭锁机构推向第一及第二支持位置，且其中该至少一振动阻尼器包括可动地耦合于底座上之弹簧的第二弹性部分。如申请专利范围第23项之门，更包含一晶圆减振部分，其中该凸轮与该弹簧系为导电性，且该弹簧的第二弹性部分系可导电地耦合于晶圆减振部分。如申请专利范围第23项之门，其中，该弹簧之第一及第二弹性部分系一体成型为单一部件。如申请专利范围第22项之门，其中，该振动阻尼器更包含设于接近该狭槽之第二端部之一第二弹簧，以接合凸轮从动件部分并提供一偏压力以抵抗凸轮从动件部分之朝向狭槽第二端部的运动，而该第二弹簧系延伸穿过该狭槽。如申请专利范围第22项之门，其中，该闭锁机构更包含可动地耦合于凸轮之一闭锁臂，且其中该至少一振动阻尼器包括延伸于闭锁臂与底座之间之一弹性构件。