发明名称 长晶炉内具有加热器之支撑桌体
摘要
申请公布号 TWI348504 申请公布日期 2011.09.11
申请号 TW097100178 申请日期 2008.01.03
申请人 绿能科技股份有限公司 发明人 吕秀正;林和龙
分类号 C30B35/00 主分类号 C30B35/00
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;杨庆隆 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项 一种长晶炉内具有加热器之支撑桌体,包括一桌板、及至少四支撑柱,该桌板是透过该至少四支撑柱以支持固定于一长晶炉之炉壁内;其特征在于:该支撑桌体更包括有复数个电热器,分别设置于该桌板之下方;其中,每一支撑柱包括有:一石墨电极支柱,包括有一底端、及一顶端,该底端设有一外螺牙,该顶端支撑顶抵于该复数个电热器其中之一下方并彼此形成电性连接;一金属电极柱,包括有一螺母座、及一外螺杆,该螺母座一端凹设有一内螺孔以对应螺锁于该石墨电极支柱之该外螺牙,该螺母座另一端则凸出延伸有该外螺杆、并与该外螺杆之间形成有一肩部;一固定座,包括有一固定法兰、一绝缘轴套、一上绝缘垫、一密封衬垫、一弹性垫圈、一固定环、及复数个绝缘环,其中,该固定法兰包括有一中空圆筒、及一外环圈,该中空圆筒外周系固设于该长晶炉侧壁之炉壁上、内部形成有一中央孔,该外环圈开设有复数个穿孔;该绝缘轴套套设于该金属电极柱之该螺母座外周并一并容设于该中央孔内;该上绝缘垫包括有一中心穿孔,并于其外环周开设有复数个圆孔;该密封衬垫包括有一中心孔,并于其外环周开设有复数个逃孔;该弹性垫圈包括有一圆心部、一环周部、及至少一弹片,该至少一弹片连结于该圆心部与该环周部之间以提供一轴向弹力,该圆心部中央开设有一中孔,该环周部开设有复数个贯孔;上述金属电极柱之该外螺杆穿经该密封衬垫之该中心孔与该弹性垫圈之该中孔,并使该肩部顶抵于该密封衬垫上;该固定环外环周开设有复数个固定孔;复数个固定螺栓,分别对应穿经该复数个固定孔、该复数个绝缘环、该复数个贯孔、该复数个逃孔、该复数个圆孔、及该复数个穿孔,并透过复数个螺帽分别对应锁紧,以将该上绝缘垫、该密封衬垫、与该弹性垫圈一并夹合固定于该固定法兰与该固定环之间,其中该固定法兰与该密封衬垫之间因间隔有该绝缘轴套、该上绝缘垫、与该复数个绝缘环而形成电性绝缘;以及一锁固螺帽,对应锁固于该金属电极柱之该外螺杆,并将该密封衬垫、与该弹性垫圈夹合固定于该锁固螺帽与该金属电极柱之该肩部之间。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,每一电热器之二端分别与该桌板之间更夹设有一绝缘压片,该绝缘压片对应到其下方该石墨电极支柱之该顶端。如申请专利范围第2项所述之支撑桌体,其中,每一电热器之二端分别凹设有一承坑,该桌板下方凹设有复数个承穴,该绝缘压片是容置于该承坑与其对应之承穴内。如申请专利范围第2项所述之支撑桌体,其中,该绝缘压片是指一氧化锆压片。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该桌板下方更设有一中央凹陷。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该石墨电极支柱之该顶端更设有一外螺牙,该石墨电极支柱更包括有一调整螺帽,透过该调整螺帽螺合于该外螺牙上以支撑顶抵着该电热器。如申请专利范围第6项所述之支撑桌体,其中,该调整螺帽包括有一石墨调整螺帽。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该金属电极柱包括有一铜电极柱。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该固定法兰下表面更凸设有一环凸起,该上绝缘垫上表面更凹设有一环凹槽,该环凸起是对应嵌合容置于该环凹槽内。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该固定法兰包括有一不锈钢法兰。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该绝缘轴套包括有一氧化铝纤维轴套。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该上绝缘垫包括有一矽橡胶。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该上绝缘垫包括有一铁氟龙衬垫。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该上绝缘垫之外周更环设有一外凸缘。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该密封衬垫包括有一铜质衬垫。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其中,该固定座更包括有一下绝缘垫,该下绝缘垫夹设于该弹性垫圈与该固定环之间,该下绝缘垫外环周开设有复数个通孔。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其更包括复数个绝缘座、及复数个绝缘盖,分别对应包覆于该复数个螺帽上。如申请专利范围第1项所述之支撑桌体,其更包括复数个绝缘座、及复数个绝缘盖,分别对应包覆于该复数个固定螺栓上。
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