| 主权项 |
一种涂布装置，是具备有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、以及一面藉由该基板搬运部进行搬运，一面对上述基板涂布液状体的涂布部之涂布装置，其特征为：具备有：在上述基板搬运部设置复数个，可进行气体的喷出及吸引的孔部；以及将从上述复数的孔部喷出气体的喷出模式与从上述复数的孔部进行吸引的吸引模式进行切换的控制手段。如申请专利范围第1项的涂布装置，其中上述孔部，是为了使上述基板浮起而进行气体的喷出及吸引。如申请专利范围第1或2项的涂布装置，其中上述控制手段具有：针对在上述基板搬运部之中在对应于上述涂布部的区域所设置的上述孔部，来进行切换上述喷出模式及上述吸引模式的手段。如申请专利范围第1或2项的涂布装置，其中又具备有：检测出从上述复数的孔部所吸引的吸引物的第一感应器。如申请专利范围第4项的涂布装置，其中上述控制手段具有：根据上述第一感应器的检测结果，来使上述基板的搬运动作及上述液状体的涂布动作停止的手段。如申请专利范围第1或2项的涂布装置，其中又具备有：将从上述复数的孔部所吸引的吸引物予以储存的暂存槽。如申请专利范围第6项的涂布装置，其中上述控制手段，具有：当在上述暂存槽储存预定量以上的上述吸引物时，则将上述吸引物排出的手段。如申请专利范围第1或2项的涂布装置，其中又具备有：与上述复数的孔部连接的流通路、及将洗净液供给到上述流通路的洗净液供给部。如申请专利范围第1或2项的涂布装置，其中上述流通路为配管，并连接于：用来将气体供给到上述复数的孔部的气体供给手段、及用来从上述复数的孔部进行吸引的吸引手段；又具备有：于上述流通路设置以让上述气体供给手段及上述吸引手段的其中任一方连接于上述复数的孔部的阀部。如申请专利范围第1或2项的涂布装置，其中又具备有：将位于上述孔部的上述气体喷出及上述吸引的状态予以检测出的第二感应器。如申请专利范围第10项的涂布装置，其中上述控制手段，具有：根据上述第二感应器的检测结果，来进行上述复数的孔部的回复动作的手段。如申请专利范围第11项的涂布装置，其中上述回复动作，包含有：上述喷出模式及上述吸引模式的切换、上述喷出模式中之气体喷出量的调节及上述吸引模式中之吸引量的调节。如申请专利范围第10项的涂布装置，其中上述控制手段，具有：根据上述第二感应器的检测结果，使上述基板的搬运动作及上述液状体的涂布动作停止的手段。一种涂布装置的清洁方法，是具备有：使基板浮起来进行搬运的基板搬运部、以及一面藉由该基板搬运部进行搬运，一面对上述基板涂布液状体的涂布部之涂布装置的清洁方法，其特征为：在上述基板搬运部，设置复数个可进行气体的喷出及吸引的孔部，因应于上述基板搬运部的状态，在上述复数的孔部进行吸引。如申请专利范围第14项的涂布装置的清洁方法，其中将从上述复数的孔部所吸引的吸引物予以检测。如申请专利范围第15项的涂布装置的清洁方法，其中根据上述检测的结果来进行上述吸引。如申请专利范围第15项的涂布装置的清洁方法，其中根据上述检测结果来将上述基板的搬运动作及上述液状体的涂布动作停止。如申请专利范围第15、16或17项的涂布装置的清洁方法，其中在每次上述涂布装置的启动、每经过预定时间、每处理过预定片数的上述基板、或每次于上述液状体的涂布动作之间，皆进行上述检测动作。如申请专利范围第14、15、16或17项的涂布装置的清洁方法，其中上述涂布装置具备有与上述复数的孔部连接的流通路，在上述吸引动作之后或与上述吸引动作同时，将洗净液供给到上述流通路内。如申请专利范围第19项的涂布装置的清洁方法，其中在上述洗净液供给后，使上述流通路内乾燥。如申请专利范围第14、15、16或17项的涂布装置的清洁方法，其中将位于上述孔部的气体的喷出状态及上述吸引状态予以检测出。如申请专利范围第21项的涂布装置的清洁方法，其中根据上述检测结果，进行上述复数的孔部的回复动作。如申请专利范围第22项的涂布装置的清洁方法，其中上述回复动作，包含有：上述气体喷出动作与上述吸引动作的切换、上述气体喷出量的调节及上述吸引动作的吸引量的调节。如申请专利范围第21项的涂布装置的清洁方法，其中根据上述检测结果，将上述基板的搬运动作及上述液状体的涂布动作停止。 |
