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一种非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其系包括有下列步骤：(A)开启装置，并将保护气体连接至若干节流阀；(B)设定若干节流阀开启时间；(C)设定腔体含氧浓度之第一目标值及第二目标值；(D)腔体开始加热；(E)制程设备是否已运作，若其结果为是，执行步骤(F)；若其结果为否，执行步骤(M)；(F)腔体之进出料闸门是否开启，若其结果为是，执行步骤(G)；若其结果为否，执行步骤(H)；(G)开启全部节流阀至一预定时间，再执行步骤(E)；(H)关闭至少一节流阀；(I)若腔体含氧浓度小于或等于第一目标值，关闭至少一节流阀，若其结果为是，执行步骤(J)；若其结果为否，执行步骤(E)；(J)若腔体含氧浓度小于或等于第二目标值，若其结果为是，执行步骤(K)，若其结果为否，执行步骤(L)；(K)关闭至少一节流阀，再执行步骤(E)；(L)保持节流阀开启数量，再执行步骤(E)；以及(M)腔体内温度低于预定温度时停止供应保护气体。如申请专利范围第1项所述之非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其中该保护气体系指一氮气。如申请专利范围第1项所述之非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其中该步骤(M)中之预定温度系指摄氏80℃。如申请专利范围第1项所述之非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其中该步骤(C)中之第二目标值小于第一目标值。如申请专利范围第1项所述之非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其中该步骤(E)中之制程设备系指一高温压模制程设备。如申请专利范围第1项所述之非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其中该若干节流阀系可由对应若干电磁阀加以开启及关闭，而若干电磁阀系由一控制器所控制。 |
