| 摘要 |
1. Пьезорезонансный сенсор давления, содержащий мембрану, сдвоенный микрокамертон, имеющий области крепления и соединенную с ними перемычками колеблющуюся область, причем резонатор жестко с зазором между ним и мембраной прикреплен областями крепления к поверхности мембраны, отличающийся тем, что расстояние между областями крепления больше суммарной длины колеблющейся области резонатора и длин перемычек, по крайней мере, на 6 ширин перемычек, а величина зазора составляет от 1 до 5 толщин мембраны. ! 2. Пьезорезонансный сенсор давления по п.1, отличающийся тем, что зазор обеспечивается выступами на мембране, имеющими форму цилиндрических секторов, располагающихся на расстоянии 0,57-0,7 радиуса мембраны от ее центра. |
