| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de réalisation d'une structure multicouche (130) comprenant: - le collage (S1) d'une première plaque (110) sur une deuxième plaque (120à), au moins la première plaque présentant un bord chanfreiné (117a, 117b), - l'amincissement (S2, S4) de la première plaque (110) pour former une couche transférée (115), ledit amincissement comprenant une étape de meulage et une étape de gravure chimique. Après l'étape de meulage et avant l'étape de gravure chimique, une étape de détourage (S3) du bord de la première plaque (110) est réalisée avec une roue (150) dont la surface de travail (151) comprend des particules abrasives d'une taille moyenne inférieure ou égale à 800 mesh ou supérieure ou égale à 18 microns, ladite étape de détourage étant réalisée sur une profondeur déterminée (Pdno) dans la première plaque (110) de manière à laisser subsister au niveau de la zone détourée une épaisseur (e1110) de la première plaque (110) inférieure ou égale à 35 µm.
|
