BARREL TYPE SUSCEPTOR FOR EPITAXIAL REACTOR,申请号KR20100018454-传众专利搜索

发明名称	BARREL TYPE SUSCEPTOR FOR EPITAXIAL REACTOR
摘要
申请公布号	KR20110099437(A)	申请公布日期	2011.09.08
申请号	KR20100018454	申请日期	2010.03.02
申请人	LG SILTRON INCORPORATED	发明人	KIM, DONG JU
分类号	H01L21/683;H01L21/205;H01L21/687	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
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