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发明名称 METODO DE FABRICACION DE SUSTRATOS DE CIRCUITOS INTEGRADOS BASADOS ENTECNOLOGIA CMOS.
摘要
申请公布号 ES2346396(B2) 申请公布日期 2011.09.08
申请号 ES20100030475 申请日期 2010.03.30
申请人 UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID 发明人 FUENTES IRIARTE, GONZALO
分类号 H01L21/02;H01L21/76 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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