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发明名称
SLURRY COMPOSITION CONTAINING NON-IONIC POLYMER AND METHOD FOR USE
摘要
申请公布号
KR20110099744(A)
申请公布日期
2011.09.08
申请号
KR20117016676
申请日期
2009.12.17
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
GRUMBINE STEVEN;NAM CHUL WOO;WARD WILLIAM;NAGARAJAN RAMASUBRAMANYAM
分类号
C09K3/14;H01L21/304
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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