可减少电弧石英坩埚内表面质量缺陷的石墨电极结构

摘要

一种可减少电弧石英坩埚内表面质量缺陷的石墨电极结构，包括石墨电极，其特殊之处是：在石墨电极上沿轴向间隔设有多个横向孔，在石墨电极上套装有石英护套，所述的石英护套通过穿过石英护套和横向孔的石英销钉固定在石墨电极上。由于采用石英护套，使熔制过程中二氧化硅蒸汽与电极上套有石英护套部位无法接触，利用二氧化硅沉积物与石英护套同质，沉积物可牢固附着，从而减少乃至消除“白点”和附着物等缺陷，提高坩埚的质量与合格率，进而减少拉晶缺陷，提高拉晶率。

主权项

一种可减少电弧石英坩埚内表面质量缺陷的石墨电极结构，包括石墨电极，其特征是：在石墨电极上沿轴向间隔设有多个横向孔，在石墨电极上套装有石英护套，所述的石英护套通过穿过石英护套和横向孔的石英销钉固定在石墨电极上。