表面检查设备

摘要

本发明提供一种表面检查设备，该表面检查设备通过驱动装置使轴状检查头绕其轴线旋转的同时使所述检查头沿所述轴线运动，其中在所述轴状检查头的末端设有光程改变装置，该表面检查设备同时通过所述光程改变装置改变沿所述轴线入射到所述检查头内部的检查光的光程，向检查对象照射光程被改变的检查光，基于被所述检查对象反射并再次入射到所述检查头内的检查光的光量而检测所述检查对象的表面情况，其中，所述检查头包括附接于驱动装置的头主体，以及可拆装地设在所述头主体上并保持所述光程改变装置的保持部。

主权项

一种表面检查设备，该表面检查设备通过驱动装置使轴状检查头绕其轴线旋转的同时使所述检查头沿所述轴线运动，其中在所述轴状检查头的末端设有光程改变装置，该表面检查设备同时通过所述光程改变装置改变沿所述轴线入射到所述检查头内部的检查光的光程，向检查对象照射光程被改变的检查光，基于被所述检查对象反射并再次入射到所述检查头内的检查光的光量而检测所述检查对象的表面情况，其中所述检查头包括附接于驱动装置的头主体，以及可拆装地设在所述头主体上并保持所述光程改变装置的保持部。