离子源弧电源打坑系统

摘要

一种离子源弧电源打坑系统，其主要包括：弧电源输出端并联的多只绝缘栅双极型晶体管和电阻组合的支路；由阶梯脉冲编码器和绝缘栅双极型晶体管触发板构成的触发系统；阶梯脉冲编码器设置有外部控制其脉冲输出的接口，用于接收离子源引出高压开通和打火时刻的信号。本实用新型大大简化控制触发脉冲的设计，不同打坑时间通过软件设置，使得整个系统的操作更加的简单，保证了对打坑时间的快速性的要求，能控制弧电源输出电流在微妙至毫秒的时间范围内被旁路20%～30%，满足了在离子源引出高压投入或打火时刻与弧电流相匹配的要求。

主权项

一种离子源弧电源打坑系统，其主要包括：弧电源输出端并联的多只绝缘栅双极型晶体管和电阻组合的支路；由阶梯脉冲编码器和绝缘栅双极型晶体管触发板构成的触发系统；阶梯脉冲编码器设置有外部控制其脉冲输出的接口，用于接收离子源引出高压开通和打火时刻的信号。