一种超精密平台调平装置

摘要

一种超精密平台调平装置，它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块，第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置；第一斜垫设置在第一底座上，第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接，平面垫块设置在第一斜垫上，第一球头调整垫块与平台固接；第二斜垫设置在第二底座上，第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接，第二球头调整垫块装在凹槽内，第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。

主权项

一种超精密平台调平装置，其特征在于所述调平装置由槽形底座(1)、水平垂直调整机构(2)、平台(9)、水平垂直调整定位机构(10)和垂直定位机构(18)构成，所述平台(9)由“00”级大理石平板制成，水平垂直调整机构(2)由第一斜垫(3)、第一底座(4)、第一调整机构(24)、第一平面垫块(7)和第一球头调整垫块(8)构成，所述水平垂直调整定位机构(10)由第一锁紧件(11)、第二球头调整垫块(12)、第二平面垫块(13)、第二调整机构(25)、第二底座(16)和第二斜垫(17)构成，所述垂直定位机构(18)由第三平面垫块(19)、第三球头调整垫块(20)和第二锁紧件(21)构成，槽形底座(1)的两个上端面中的一个上装有第二底座(16)，槽形底座(1)的两个上端面中的剩余一个上装有第一底座(4)和第三平面垫块(19)，第一底座(4)、第二底座(16)和第三平面垫块(19)呈等腰三角形布置；所述第一底座(4)和第二底座(16)均为L形，L形第一底座(4)的水平板的上端面为斜面，第一底座(4)的斜面靠近槽形底座(1)的槽的一端的高度小于第一底座(4)的斜面另一端的高度，第一斜垫(3)设置在第一底座(4)的斜面上，所述第一斜垫(3)和第一底座(4)通过第一调整机构(24)连接，所述第一平面垫块(7)设置在第一斜垫(3)的上端面上，所述第一球头调整垫块(8)的球面与第一平面垫块(7)的上端面接触，所述第一球头调整垫块(8)的上端面与平台(9)的下端面固接；L形第二底座(16)的水平板的上端面为斜面，第二底座(16)的斜面靠近槽形底座(1)的槽的一端的高度小于第二底座(16)的斜面另一端的高度，第二斜垫(17)设置在第二底座(16)的斜面上，第二斜垫(17)和第二底座(16)通过第二调整机构(25)连接，第二平面垫块(13)上设有与第二球头调整垫块(12)相匹配的第一凹槽(13‑1)，所述第二球头调整垫块(12)装在第一凹槽(13‑1)内，所述第二球头调整垫块(12)的上端面与平台(9)的下端面固接，所述第二球头调整垫块(12)、第二平面垫块(13)、第二斜垫(17)和第二底座(16)相对应处设有第一通孔(22)，所述第一锁紧件(11)穿过平台(9)和第一通孔(22)与槽形底座(1)连接；所述第三平面垫块(19)设在槽形底座(1)上，所述第三平面垫块(19)上设有V形凹槽(19‑1)，所述第三球头调整垫块(20)的球头装在V形凹槽(19‑1)内，所述第三球头调整垫块(20)的上端面与平台(9)的下端面固接，所述第三球头调整垫块(20)和第三平面垫块(19)相对应处设有第二通孔(23)，所述第二锁紧件(21)穿过平台(9)和第二通孔(23)与槽形底座(1)连接。