| 发明名称 | 用于形成平板显示器用配线膜的溅射靶 | ||
| 摘要 | 本发明的平板显示器的铜合金配线膜以及用于形成该铜合金配线膜的溅射靶具有如下组成：含有Mg：0.1～5原子％，还含有Mn和Al中的1种或2种总计：0.1～11原子％，根据需要含有P：0.001～0.1原子％，余部由Cu和不可避免的杂质构成。 | ||
| 申请公布号 | CN102177273A | 申请公布日期 | 2011.09.07 |
| 申请号 | CN200980139268.0 | 申请日期 | 2009.07.31 |
| 申请人 | 三菱综合材料株式会社 | 发明人 | 牧一诚;谷口兼一;中里洋介;浅尾晴彦 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C9/01(2006.01)I;C22C9/05(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 卢曼;高旭轶 |
| 主权项 | 用于形成平板显示器用配线膜的溅射靶，其具有如下组成：含有Mg：0.1～5原子％，还含有Mn和Al中的1种或2种总计：0.1～11原子％，余部由Cu和不可避免的杂质构成。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||