适用高频微波遥感具有混频功能的石英电路的制备方法

摘要

本发明涉及适用高频微波遥感具有混频功能的石英电路的制备方法，特别涉及适用毫米波亚毫米波遥感的具有混频功能的石英电路的制备方法，属于实现高频微波遥感关键技术领域。本发明通过采用石英材料制备的电路的工作频率可应用到1000GHz，损耗低、硬度大、电路精度高，便于批量化和一致性好；由于丰富的气象信息包含在毫米波亚毫米波频段，因此，需要工作在该波段的微波仪器进行探测；本发明实现了射频前端的变频功能，使得采集包含在高频的气象信息得以实现。

主权项

适用高频微波遥感具有混频功能的石英电路的制备方法，其特征在于具体步骤为：1)使用磁控溅射台在石英方片剖光面上依次溅射镉金属层和金金属层分别作为电镀金的粘附层和导电层；2)在金金属层上涂光刻胶，使用电路的掩膜版进行图形的曝光、显影，形成所需混频功能电路的光刻图形；3)对步骤2)光刻出的电路图形进行电镀金加厚，形成金层电路；4)用有机溶剂去掉石英方片上的光刻胶；5)以步骤3)形成的电镀加厚的金层为掩蔽将步骤1)溅射的金金属层先腐蚀掉，然后再腐蚀掉镉金属层，形成最终的电路图形；6)在步骤5)得到的电路图形上面涂足够厚的光刻胶，用于保护电路图形的金金属图形；7)使用粘片剂将石英方片上带有电路图形的一面粘到平整的蓝宝石上，蓝宝石在石英方片减薄过程中起支撑作用；8)将石英方片减薄至目标厚度；9)将步骤8)制备的石英方片从蓝宝石上取下，用有机溶剂将带有电路图形的一面含有的粘片剂和光刻胶清洗干净；10)使用砂轮划片机将石英片按电路图形分解。