一种化学机械研磨设备

摘要

本实用新型提供一种化学机械研磨设备，通过设置研磨厚度实时反馈装置及同研磨厚度实时反馈装置相连接的有多个分流端口的研磨液供应装置，可将待研磨晶圆的各个研磨区域的研磨厚度均匀性的实时检测结果反馈给研磨液供应装置，使研磨液供应装置能够根据厚度均匀性实时调整对应于待研磨晶圆不同研磨区域的各个分流端口的研磨液流速，从而使研磨液的流速随研磨厚度均匀性进行实时调整，极大的提高了晶圆研磨面的均匀性和平坦度。

主权项

一种化学机械研磨设备，包括：表面贴有研磨垫的转台，研磨头、用于输送研磨液的研磨液供应装置，其特征在于，还包括用于检测被研磨样品厚度的传感器以及对所述传感器的测量数据进行处理的数据处理器；所述研磨液供应装置包括供应管道、流速控制器和多个分流端口；所述传感器安装于所述研磨垫下，所述数据处理器连接所述传感器，所述流速控制器的一端连接所述数据处理器，另一端连接所述供应管道，所述分流端口连接于所述流速控制器上；所述分流端口分布于所述流速控制器的两侧。