| 主权项 |
一种具有对点、测试双探测器的红外干涉检测装置，其特征在于包括CO2激光器[1]、半导体激光器[2]、第一、二反射镜[3、4]、扩束镜[5]、小分光镜[6]、大分光镜[7]、离轴抛物面反射镜[8]、小孔光阑[9]、测试成像透镜[10]、测试红外探测器[11]、第一折转反射镜[12]、毛玻璃屏[13]、第二折转反射镜[14]、对点成像透镜[15]、对点红外探测器[16]、二维调整架 [17]、五维调整架 [18]和配备精密测长装置的导轨[19]，其中小分光镜[6]、大分光镜[7]、小孔光阑[9]、测试成像透镜[10]和测试红外探测器[11]构成测试成像光路，大分光镜[7]、折转反射镜[12]、毛玻璃屏[13]、折转反射镜[14]、对点成像透镜[15]和对点红外探测器[16]构成对点成像光路，即由CO2激光器 [1]发出的红外激光依次经过第一、二反射镜[3、4]入射至扩束镜[5]，扩束镜[5]将入射的小口径平行光会聚，光束经过会聚焦点以后变为发散的球面波，球面波依次经过小分光镜[6]和大分光镜[7]反射至离轴抛物面反射镜[8]，该离轴抛物面反射镜[8]的焦点与扩束镜[5]的焦点重合，发散球面波经离轴抛物面反射镜[8]反射后变成准直的平行光束，该平行光束经过标准镜[20]和被测件[21]后返回，再经过离轴抛物面反射镜[8]反射变为会聚的球面波，会聚球面波的一部分经大分光镜[7]的前表面反射，依次透射经过小分光镜[6]、小孔光阑[9]和成像透镜[10]，最终被测试红外探测器[11]采集形成测试成像光路；会聚球面波的另一部分经大分光镜[7]透射，经第一折转反射镜[12]折转光路，透射通过毛玻璃屏[13]衰减部分光强，再经第二折转反射镜[14]入射至成像透镜[15]，最终被对点红外探测器[16]采集形成对点成像光路；标准镜[20]和被测件[21]之间形成干涉腔，标准镜[20]装夹在二维调整架[17]上, 被测件[21]装夹在五维调整架[18]上，五维调整架[18]固定在导轨[19]的滑块上。 |
