发明名称 |
多晶硅酸法制绒工艺 |
摘要 |
本发明涉及太阳能电池的制作领域,尤其是太阳能电池的多晶硅酸法制绒工艺,(一)进行喷涂在硅片表面喷涂二氧化硅或光阻材料保护颗粒;(二)进行制绒将硅片置于氢氟酸和硝酸的混合液中,进行制绒,喷涂在硅片表面的颗粒作为了刻蚀的保护层。本发明的有益效果是降低了硅片的反射率,提高效率。 |
申请公布号 |
CN101613884B |
申请公布日期 |
2011.09.07 |
申请号 |
CN200910029714.4 |
申请日期 |
2009.04.02 |
申请人 |
常州天合光能有限公司 |
发明人 |
张学玲 |
分类号 |
C30B33/10(2006.01)I;C23F1/24(2006.01)I;C23F1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B33/10(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 32211 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
一种多晶硅酸法制绒工艺,其特征是:具有如下工艺(一)进行喷涂 在硅片表面喷涂二氧化硅或光阻材料保护颗粒;(二)进行制绒 将硅片置于氢氟酸和硝酸的混合液中,进行制绒,喷涂在硅片表面的颗粒作为了刻蚀的保护层。 |
地址 |
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |