矢量水听器的T形敏感体

摘要

本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器的T形敏感体。解决了现有矢量水声传感器因加工工艺的原因无法在矢量探测和高灵敏上发挥最佳优势的问题，包括由长方体基座、长方体立柱构成的T形体，长方体基座上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻，长方体立柱上通过扩散工艺加工有位于长方体立柱根部的应变压敏电阻，应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等，应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥。结构简单、新颖，灵敏度高、体积小、功耗低、探测距离远、具有良好的“8”字形指向性，加工成本低，适合批量化生产，以其生产加工的矢量水听器应用范围广阔。

主权项

一种矢量水听器的T形敏感体，其特征在于：包括以硅片为加工材料、经硅基MEMS加工工艺加工出的T形体，T形体由长方体基座(1)、与长方体基座(1)垂直固定连接的长方体立柱(2)构成，长方体基座(1)上通过扩散工艺加工有三个阻值相等的基准电阻R2、R3、R4，长方体立柱(2)上通过扩散工艺加工有应变压敏电阻R1，且该应变压敏电阻R1位于长方体立柱(2)的根部，应变压敏电阻R1的阻值与基准电阻的阻值相等，应变压敏电阻R1与基准电阻R2、R3、R4连接构成惠斯通电桥，其中，三个基准电阻R2、R3、R4分别作为惠斯通电桥的单边基准桥臂，应变压敏电阻R1作为惠斯通电桥的单边应变桥臂。