驱动微反射镜的方法和装置

摘要

微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中的微反射镜阵列(22)的微反射镜(24)，可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(αx、αy)倾斜。微反射镜(24)被分配三个驱动器(E1、E2、E3)，所述三个驱动器可以通过控制信号(U1、U2、U3)被分别驱动，从而使得微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜。规定两个控制变量(SGx、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(αx、αy)。对于两个控制变量(SGx、SGy)的任何希望的组合，根据两个控制变量(SGx、SGy)，选择三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地0。确定控制信号(U1、U2、U3)，使得当控制信号(U1、U2、U3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，微反射镜(24)根据两个控制变量(SGx、SGy)采用未被干扰倾斜角度(αx、αy)。

主权项

一种驱动微反射镜(24)的方法，包括下面的步骤：a)提供微反射镜阵列(22)，其布置于微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中且包括所述微反射镜(24)，所述微反射镜(24)可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(αx、αy)倾斜，且所述微反射镜(24)被分配三个驱动器(E1、E2、E3)，所述三个驱动器(E1、E2、E3)可通过控制信号(U1、U2、U3)被分别驱动，从而使得所述微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜；b)规定两个控制变量(SGx、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(αx、αy)；c)对于所述两个控制变量(SGx、SGy)的任何希望的组合，根据所述两个控制变量(SGx、SGy)，选择所述三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地0；d)确定所述控制信号(U1、U2、U3)，使得当所述控制信号(U1、U2、U3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，所述微反射镜(24)根据所述两个控制变量(SGx、SGy)采用所述未被干扰倾斜角度；e)将所述控制信号(U1、U2、U3)施加到所述驱动器(E1、E2、E3)。