基板自动存取装置

摘要

一种基板自动存取装置，它包括机架；存片机构，用于存放多片基板，存片机构包括可升降地设置在机架上的移动平台、设置在移动平台上并用于固定基板的多对槽架，各槽架上分别沿高度方向并行排布有多个凹槽，多对槽架之间形成可供基板插入的多个插槽，移动平台上开设有多个通孔；第二传送机构，位于移动平台的下方，第二传送机构包括多个可穿过移动平台上的通孔的承接轮、用于驱动多个承接轮转动的第二电机；第一传送机构，设置在第二传送机构的前方，用于将待存放的基板传送给第二传送机构或者承接第二传送机构取出的基板；升降机构，用于驱动存片机构升降。本实用新型可实现自动化收集基板或自动化投放基板。

主权项

一种基板自动存取装置，其特征在于：它包括机架（1）；存片机构（2），用于存放多片基板，所述的存片机构（2）包括可升降地设置在所述的机架（1）上的移动平台（23）、设置在所述的移动平台（23）上并用于固定基板（6）的多对槽架（22），各所述的槽架（22）上分别沿高度方向并行排布有多个凹槽，多对所述的槽架（22）之间形成可供基板插入的多个插槽，所述的移动平台（23）上开设有多个通孔（231）；第二传送机构（4），位于所述的移动平台（23）的下方，所述的第二传送机构（4）包括多个可穿过所述的移动平台（23）上的通孔（231）的承接轮（42）、用于驱动所述的多个承接轮（42）转动的第二电机（41）；第一传送机构（3），设置在所述的第二传送机构（4）的前方，用于将待存放的基板传送给所述的第二传送机构（4）或者承接所述的第二传送机构（4）取出的基板； 升降机构（5），用于驱动所述的存片机构（2）升降。