多晶硅还原炉

摘要

一种多晶硅还原炉，包括置于还原炉底板上的还原炉内体，其中：所述还原炉内体外由内向外依次设置有夹套D、夹套C、夹套B和夹套A，夹套D与夹套C之间、夹套C与夹套B之间、夹套B与夹套A之间分别构成相应的冷却水通道，且夹套D与夹套C联通，夹套C与夹套B联通，夹套B与夹套A联通，夹套A下端一侧上设置有冷却水进口，夹套C顶端设置有高温蒸汽出口。本实用新型结构简单，设计新颖，其采取设置多层夹套从而使夹套温度具有梯度变化，不仅使夹套内外温度均满足工艺要求，且产出的高温蒸汽更便于回收利用热能做到多举多得的目的。

主权项

一种多晶硅还原炉，包括置于还原炉底板（1）上的还原炉内体（7），其特征在于：所述还原炉内体（7）外由内向外依次设置有夹套D（6）、夹套C（5）、夹套B（4）和夹套A（3），夹套D（6）与夹套C（5）之间、夹套C（5）与夹套B（4）之间、夹套B（4）与夹套A（3）之间分别构成相应的冷却水通道，且夹套D（6）与夹套C（5）联通，夹套C（5）与夹套B（4）联通，夹套B（4）与夹套A（3）联通，夹套A（3）下端一侧上设置有冷却水进口（2），夹套C（5）顶端设置有高温蒸汽出口（8）。