| 发明名称 | 晶圆喷洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出的晶圆喷洗装置包括管道、与所述管道连通的转动轴、与所述转动轴连通的喷头以及启动元件，所述启动元件包括齿轮、马达以及驱动器，所述齿轮固定在所述转动轴的外壁上并与所述马达啮合，所述马达与所述驱动器连接，所述驱动器内包括方向控制元件。本实用新型提供的晶圆喷洗装置，扩大了喷头喷射的范围，有助于晶圆表面能够达到更好更全面的清洗效果。 | ||
| 申请公布号 | CN201966186U | 申请公布日期 | 2011.09.07 |
| 申请号 | CN201120070789.X | 申请日期 | 2011.03.17 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 朱建野 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆喷洗装置，其特征在于，包括管道、与所述管道连通的转动轴、与所述转动轴连通的喷头以及启动元件，所述启动元件包括齿轮、马达以及驱动器，所述齿轮固定在所述转动轴的外壁上并与所述马达啮合，所述马达与所述驱动器连接，所述驱动器内设置有方向控制元件。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||