一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法，传感器包括三个自上而下依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；三个电极通过绝缘支柱隔离。方法包括：分别制作三个电极的掩模板，清洗硅片，溅射金属掩模；刻蚀金属掩模和图形、去除掩模、清洗硅片；溅射多层金属膜，制作金焊盘；丝网印刷绝缘浆料或者粘接聚合物绝缘条；在第一电极内侧面金属膜基底上生长或者丝网印刷碳纳米管薄膜；将三电极粘合，键合电极引线，封装传感器。该传感器结构简单，检测气体线性度好，准确度高。

主权项

一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器，其特征在于：包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极由内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底以及设有透气孔的电极构成；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。