发明名称 结晶性透明导电性薄膜、其制造方法、透明导电性薄膜及触摸面板
摘要 本发明提供一种结晶性透明导电性薄膜,其主成分是相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡的氧化铟锡,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。本发明的结晶性透明导电性薄膜具有高电阻值且在高温、高湿环境下的可靠性也良好。
申请公布号 CN101133463B 申请公布日期 2011.09.07
申请号 CN200680007188.6 申请日期 2006.12.27
申请人 日东电工株式会社 发明人 梨木智刚;野口知功;菅原英男
分类号 H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I 主分类号 H01B5/14(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 李香兰
主权项 一种结晶性透明导电性薄膜,其以氧化铟锡为主成分,并且在该氧化铟锡中,相对于氧化铟和氧化锡的总量以9重量%以下的比例含有氧化锡,其特征在于,该结晶性透明导电性薄膜以0.45原子%以下的比例含有氮。
地址 日本大阪府