使用非线性致动器的可制造微型定位系统

摘要

本发明的实施例涉及使用具有其特征图案的感应目标(290)的位置感应系统和位置感应方法，并涉及使用此类位置感应系统(1030)定位功能元件的定位模块(1000)和系统。位置感应系统(1030)包括编码模块和处理模块。编码模块具有主动编码区，感应目标(290)配置成通过该主动编码区移动。此外，该编码模块配置成基于该主动编码区内的感应目标(3350)的一部分产生信号。该主动编码区具有大于特征图案的平均临界尺寸的尺寸。该处理模块配置成基于输入范围条件和初始位置条件将生成的信号转换成位置数据。

主权项

一种配置成使用感应目标的位置感应系统，该感应目标具有图案特征，该图案特征具有关于该感应目标的平均临界尺寸，该位置感应系统包括：a)编码模块，其具有主动编码区，感应目标配置成通过该主动编码区移动；所述编码模块配置成产生代表存储在该主动编码区内的该感应目标的一部分上的信息的信号，其中，所述主动编码区具有大于该平均临界尺寸的尺寸；以及b)处理模块，其配置成通过对包括输入范围条件和初始位置条件的数据的分析将生成的信号转换成位置数据。