基板管理方法

摘要

一种基板管理方法，目的在于切实把握静电卡盘上导致应处理基板的破损的基板状态。在将基板保持在静电卡盘上时，经交流电源输入流经卡板的电容的交流电流，检测此电流值；监测经气体导入设备的输入所述气体的流量，通过电流值及气体流量中至少一方的变化量来管理基板状态，以防基板破损，所述卡盘包括：卡盘主体1，其具有电极3a、3b；绝缘体卡板2，具有可与应处理基板的外周边缘部面接触的挡边部2a，以及在所述挡边部2a所围绕的内部空间2b中垂直设立的、具有指定间隔的多个支持部2c；导入设备，将指定的气体导入所述内部空间，所述静电卡盘用卡板保持基板，且向所述内部空间供给指定的气体形成气体气氛。

主权项

一种基板管理方法，所述方法在将基板保持在静电卡盘上时管理基板状态以防基板破损，所述静电卡盘包括：卡盘主体，其具有多个电极；绝缘体卡板，其具有可与应处理基板的外周边缘部面接触的挡边部和在所述挡边部所围绕的内部空间内垂直设置的、具有指定间隔的多个支持部；气体导入设备，向所述内部空间导入指定的气体；其中，所述静电卡盘通过电极间外加指定电压用卡板来吸附基板，且，向所述静电卡盘的所述内部空间供给指定的气体以形成气体气氛，其特征在于：通过交流电源输入流过卡板的电容的交流电流，检测此电流值；同时，监测经气体导入设备导入的所述气体的流量，根据电流值及气体流量中至少一方的变化量来进行所述基板状态的管理。