一种压电厚膜驱动的横向MEMS微驱动器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种压电厚膜驱动的横向MEMS微驱动器及其制作方法，属于智能材料与结构技术领域。该微驱动器包括由衬底形成的“T”形截面悬臂梁和两个PZT压电厚膜驱动层；两个压电厚膜驱动层位于“T”形截面悬臂梁的上表面并呈对称分布，其中PZT压电厚膜驱动层的厚度大于1μm。本发明的微驱动器结构简单，无额外运动转换机构，易于高压电性能PZT厚膜的集成；采用体硅加工工艺制作，结构释放难度小，制作可靠性高；压电式横向MEMS微驱动器的所有制作工艺与MEMS工艺兼容，具有集成化、批量化制造的潜力，可广泛用于微纳操纵、微纳机械运动行走、电磁信号/微纳流体的开关/截止阀、振动式传感器等领域。

主权项

一种压电厚膜驱动的横向MEMS微驱动器，其特征在于：包括由衬底形成的“T”形截面悬臂梁和两个PZT压电厚膜驱动层；两个压电厚膜驱动层位于“T”形截面悬臂梁的上表面并呈对称分布，其中PZT压电厚膜驱动层的厚度大于1μm。