用于化学气相沉积设备的连接管道

摘要

本实用新型提供一种用于化学气相沉积设备的连接管道，所述化学气相沉积设备包括：反应腔室和真空泵；所述连接管道包括：与所述反应腔室连接的第一管道；与所述真空泵连接的第二管道；连接所述第一管道和第二管道的连接盒；所述第一管道包括位于所述连接盒内的第一弯形管道，所述第一弯形管道具有第一自由口；所述第二管道包括位于所述连接盒内的第二弯形管道，所述第二弯形管道具有第二自由口；所述第一自由口与所述第二自由口相背。通过本实用新型提供的连接管道，减少了气态杂质颗粒进入真空泵，从而避免影响真空泵转子的工作，进一步的，提高了真空泵的寿命，降低了生产成本。

主权项

一种用于化学气相沉积设备的连接管道，所述化学气相沉积设备包括：反应腔室和真空泵；其特征在于，所述连接管道包括：与所述反应腔室连接的第一管道；与所述真空泵连接的第二管道；连接所述第一管道和第二管道的连接盒；所述第一管道包括位于所述连接盒内的第一弯形管道，所述第一弯形管道具有第一自由口；所述第二管道包括位于所述连接盒内的第二弯形管道，所述第二弯形管道具有第二自由口；所述第一自由口与所述第二自由口相背。