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发明名称
摘要
申请公布号 JP4767613(B2) 申请公布日期 2011.09.07
申请号 JP20050217635 申请日期 2005.07.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;B01J19/08;C23C16/48 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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