| 发明名称 | 一种抓取晶圆的伸缩臂及其定位方法 | ||
| 摘要 | 一种抓取晶圆的伸缩臂，包括伸缩臂本体、位于伸缩臂本体两端的滑坡、以及位于伸缩臂本体对称轴上的第一小孔、第二小孔、第三小孔，其中伸缩臂本体上的第二小孔的圆心体上第一小孔方向平移1mm，第二小孔的圆心与晶圆的圆心重合。该抓取晶圆的伸缩臂，能有效的传送晶圆，并不会损坏晶圆和伸缩臂。 | ||
| 申请公布号 | CN101451266B | 申请公布日期 | 2011.09.07 |
| 申请号 | CN200710171571.1 | 申请日期 | 2007.11.30 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 谢诚 |
| 分类号 | C30B25/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种抓取晶圆的伸缩臂，包括伸缩臂本体、位于伸缩臂本体两端的滑坡、以及位于伸缩臂本体对称轴上的第一小孔、第二小孔、第三小孔，所述伸缩臂本体两端的滑坡用于卡住晶圆，该伸缩臂本体两端的滑坡之间的距离等于晶圆的直径，所述第一小孔和第三小孔分别在所述第二小孔的两侧，其特征在于，所述伸缩臂本体上第二小孔的圆心向第一小孔方向平移1mm，第二小孔的圆心与晶圆的圆心重合。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||