| 发明名称 | 可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的可辐射固化显影的光阻组成物 | ||
| 摘要 | 一种可辐射固化显影的聚胺酯，其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：<img file="b200810080974xa00011.GIF" wi="1792" he="521" />其中：R<sup>1</sup>为C<sub>1-12</sub>直链或分支亚烷基、C<sub>3-8</sub>环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基(其中A为CH<sub>2</sub>、-NH-或-O-)，该等基又可视情况经C<sub>1-6</sub>烷基取代；R<sup>2</sup>为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R<sup>3</sup>为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C<sub>1-6</sub>烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；R<sup>4</sup>为H或CH<sub>3</sub>；且T选自下列所组成组群之一或多个取代基：-C＝C-<img file="b200810080974xa00012.GIF" wi="1177" he="192" />该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量(Mw)为3,000～400,000；酸值为5～120mgKOH/g。本发明亦有关一种含此聚胺酯的可辐射固化显影的光阻组成物。 | ||
| 申请公布号 | CN101520602B | 申请公布日期 | 2011.09.07 |
| 申请号 | CN200810080974.X | 申请日期 | 2008.02.28 |
| 申请人 | 新力美科技股份有限公司 | 发明人 | 黄伟翔;陈膺仁;张瑞铭;郭俊宏;林弘晔;张立中 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;C08G18/67(2006.01)I;C08G18/34(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 何为 |
| 主权项 | 1.一种可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：其主链具有羧酸基且侧链具有丙烯酰基与羧酸基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：<img file="FSB00000520059800011.GIF" wi="1778" he="567" />其中：R<sup>1</sup>为C<sub>1-12</sub>直链或分支亚烷基、C<sub>3-8</sub>环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基，其中A为CH<sub>2</sub>、-NH-或-O-，该等基又可经C<sub>1-6</sub>烷基取代；R<sup>2</sup>为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可进而与二异氰酸酯反应；且R<sup>3</sup>为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C<sub>1-6</sub>烷基，该OH取代基又可进而与二异氰酸酯反应；R<sup>4</sup>代表H或CH<sub>3</sub>；且T选自下列所组成组群的一个或多个取代基：<img file="FSB00000520059800012.GIF" wi="1483" he="160" />该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量为3,000～400,000；且酸值为5～120mg KOH/g。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市内湖区瑞光路496号8楼 | ||