非破坏检查装置和非破坏检查方法

摘要

本发明提高非破坏检查的效率。代替现有的在被检查体上二维地扫描光点的方法，通过在被检查体上在X方向和Y方向各扫描一次光线，得到两个一维图像，通过运算从取得的两个一维图像再构筑二维图像。从而，被检查体和光线的相对扫描，只需要用于得到第一和第二一维图像的两次扫描即可，所以扫描时间和现有相比得到大幅度的缩短。

主权项

一种非破坏检查方法，其特征在于，在电子部件上照射线状的光，上述光为红外光或激光，在和上述线状的光交叉的第一方向，由上述线状的光对上述电子部件相对地进行扫描，取得第一一维图像，然后，在和上述第一方向交叉的第二方向，由线状的光对上述电子部件相对地进行扫描，取得第二一维图像，上述第一和第二一维图像是基于OBIRCH方法、RIL方法、SDL方法、OBIC方法、SCOBIC方法、扫描激光SQUID显微镜方法、LTEM方法、和无偏压LTEM方法的任何一种或多种方法的组合的图像。